1. 什么是晶振片( Crystal Sensor )

薄薄圆圆的晶振片，来源于多面体石英棒，先被切成闪闪发光的六面体棒，再经过反复的切割和研磨，石英棒最终被做成一堆薄薄的（厚0.23mm，直径13.98mm）圆片，每个圆片经切边，抛光和清洗，最后镀上金属电极（正面全镀，背面镀上钥匙孔形），经过检测，包装就可以出厂使用
。晶体的质量和寿命不仅影响速率和厚度测量的准确性，更重要的是还决定着受控制的过程能否成功完成
。

2. 晶振片( Crystal Sensor )的工作原理

石英晶体若在晶片的两侧施加机械压力，则在晶片相应的方向上将产生电场，这种物理现象称为压电效应
。如果在晶片的两极上加交变电压，晶片就会产生机械振动，同时晶片的机械振动又会产生交变电场
。

3. 晶振片( Crystal Sensor )的分类

现在市场上常用的有两种频点，标称频率分别为5.000MHz、6.000MHz，根据膜厚控制仪的探头设计不同，采用不同的电极形状
。

4. 晶振片( Crystal Sensor )的应用

石英晶振片是晶振膜厚控制仪系统中的速率和厚度传感元件
。这些晶体用于所有标准监控器或控制器以及单、双或多晶体传感器的真空应用

5. 晶振片( Crystal Sensor )的电极材料

晶振片的电极对膜厚监控至关重要，目前市场上提供三种标准电极材料：金、银和合金
。 用户所镀的材料不同，需选用不同的电极材料产品
。

金：是最广泛使用的传统材料，它具有低接触电阻，高化学稳定性，易于沉积
。适合于镀低应力膜料，如镀Al Au Ag Cu
。

银：适合于镀高应力膜料，如Ni、Cr、Mo、Zr、Ni-Cr、Ti、不锈钢等
。

银铝合金：适合于镀介质光学膜，MgF2、SiO2、Al2O3、TiO2等膜料
。

6. 晶振片( Crystal Sensor )膜厚监控原理

石英晶体法监控膜厚，主要是利用了石英晶体的压电效应和质量负荷效应
。当晶振片上镀了某种膜层，使晶振片的厚度增加，则晶振片的固有频率会相应的变化
。

晶体的基频越高，控制的灵敏度也越高，但基频过高时，晶体片会做得很薄，很薄的晶体片易碎，一般选用AT切型频率5～10MHz
。采用AT切晶体片，其振动频率对质量的变化极其灵敏，但却不敏感于温度的变化，具有精度高、灵敏度好等独特的优势，非常适合于真空薄膜淀积中的膜厚监控
。

7. 晶振片( Crystal Sensor )再利用

1、银或银铝合金溶于各种酸，不适合再处理利用，必需彻底除去晶振片上的膜层和电极，重新寄回我司镀上电极
。

2、金不溶于硫酸，用户可以自已进行处理，去掉晶振片上膜层，清洗干净再利用，但重复利用次数不易太多，否则质量稳定性降低影响使用
。

8.晶振片清洗配方: 

20%氟化氢铵水溶液，浸泡6小时以上，浸泡后投入酒精擦拭，去水即可
。